NXQ4006光刻機(jī)在操作中應(yīng)該要注意以下幾點(diǎn):
1、進(jìn)入機(jī)倉(cāng)檢查或維修必須切斷電源,掛上警示牌并與中控。
2、檢修或檢查時(shí)必須使用36V以下照明。
3、必須經(jīng)常監(jiān)視機(jī)器運(yùn)轉(zhuǎn)情況,如聽任何不正常聲音,應(yīng)立即停機(jī)檢查,查明原因并處理完故障后,方可重新起動(dòng)。
4、正常運(yùn)轉(zhuǎn)中,應(yīng)特別注意電機(jī)和轉(zhuǎn)子的溫度變化,保證充足的油潤(rùn)滑、水冷卻,超過規(guī)定值立即停機(jī)檢查。
5、運(yùn)行時(shí),不準(zhǔn)打開觀察孔,以防物料飛出傷人。
6、每周應(yīng)檢查一次轉(zhuǎn)子卡箍螺栓的松緊情況。
7、每天開機(jī)前應(yīng)檢查襯板螺絲是否松動(dòng)并緊固。