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當前位置:首頁   >  產品中心  >  等離子清洗機  >  SCE射頻等離子清洗系統(tǒng)  >  SCE-106Anatech等離子去膠機

Anatech等離子去膠機

簡要描述:應用:
芯片封裝,工業(yè)應用,醫(yī)學應用等,是小尺寸實驗室R&D 或小規(guī)模生產的理想選擇。

  • 產品型號:SCE-106
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2024-05-16
  • 訪  問  量:2657

詳細介紹

Anatech等離子去膠機表面處理工藝:

1、清洗                          

去除納米級的殘留物

加強打線鍵合前的粘著性

2、滅菌處理

去除表面殘留微生物

3、表面刻蝕

例如PTFE表面刻蝕或者硅表面微結構

4、活化

渲染表面的親水性或疏水性

鍵合和沉積前的表面預處理

5、聚合處理

沉積帶官能分子團的聚合物

等離子活化表面

移植聚合物到活化后的材料表面

 Anatech等離子去膠機應用領域

REM TEM分析、考古學、小規(guī)模生產線

人造橡膠工業(yè)、塑料工業(yè)、汽車工業(yè)、紡織工業(yè)

半導體研發(fā)中心、半導體制造工廠

制藥技術、傳感技術

殺菌處理

技術參數:

型號(Modle)

SCE104

SCE106

SCE108

SCE110

SCE115

SCE150

SCE604

腔室尺寸

(Φ*L mm

102 x 203

152 x 203

202 x 203

254 x 457

381 x 457

254 x457

帶平行極板

102 x 203

4

腔體容積(L

1.65

3.71

6.6

23.2

52.1

23.2

1.65

腔體材質

石英艙體

石英艙體

石英艙體

石英艙體

石英艙體

石英艙體

石英艙體

腔體形狀

圓柱體

圓柱體

圓柱體

圓柱體

圓柱體

圓柱體

圓柱體

頻率(MHz)

13.56

13.56

13.56

13.56

13.56

13.56

13.56

功率RF (W)

0~150

0~150

0~600

0~600

0~1000

0~300

0~600

可選功率

RF(W)

300

300

1000

300/1000

300/600

600/1000

300/1000

控制方式

手動

手動

自動調諧

自動調諧

自動調諧

手動

自動調諧

外形尺寸 HxD, mm

584 x 660 x 762

584 x 660 x 762

584 x 660 x 762

560 x 914 x 711

711 x1626 x 813

N/L

915 x 915 x 1829

泵抽氣速率

(立方英尺/min)

3.8CFM

3.8CFM

3.8CFM

23.3CFM

42.4CFM

14.7CFM

23CFM

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