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簡要描述:SU-8 2000化學放大,i線抗蝕劑非常適合制造 permanent性器件結(jié)構(gòu)。 這些負色調(diào),環(huán)氧基抗蝕劑表現(xiàn)出優(yōu)異的耐化學性和低的楊氏模量,使其成為制造微/納米結(jié)構(gòu)的理想選擇,如懸臂,膜和微通道。
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MicroChem環(huán)氧樹脂抗蝕劑由化學放大的環(huán)氧基負性抗蝕劑組成,它們具有高度功能性,光學透明性和可接近UV(365nm)輻射的可成像。固化膜或微結(jié)構(gòu)是對溶劑非常抵扣的,酸和堿以及具有優(yōu)異的熱穩(wěn)定性和機械穩(wěn)定性,使其非常適合制造permanent結(jié)構(gòu),如像素墻,流體通道和噴嘴,微陣列和間隔物。
材料的使用:
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