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晶圓清洗機(jī)

簡要描述：WCS-200專為切割后的晶圓清洗而設(shè)計(jì)。該系統(tǒng)有兩種配置：最大8英寸的晶圓和最大12英寸的晶圓。

  • 產(chǎn)品型號：WCS-200
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時(shí)間：2024-05-17
  • 訪  問  量：1474

詳細(xì)介紹

特點(diǎn)：

· 高壓或霧化噴霧清洗

· 擁有觸摸屏界面

· 可重復(fù)過程的快速啟動按鈕

· 自動透明蓋

· CDA 和 N2 輸入傳感器

 

WCS-200專為切割后的晶圓清洗而設(shè)計(jì)。該系統(tǒng)有兩種配置：最大8英寸的晶圓和最大12英寸的晶圓。

晶圓清洗工藝通過觸摸屏進(jìn)行設(shè)置。 用戶可以通過4個(gè)步驟對多達(dá)50個(gè)程序段進(jìn)行編程：

· 沖洗

· 吹掃

· N2干燥

· 旋轉(zhuǎn)

每個(gè)步驟可設(shè)置不同的速度和時(shí)間參數(shù)。


技術(shù)參數(shù)：

晶圓最大尺寸

8"/12"mm

晶圓清洗參數(shù)：

· 速度;

· 加速度；

· 清洗時(shí)間；

· 沖洗時(shí)間；

· N2干燥時(shí)間；


轉(zhuǎn)速范圍

500-3000 rpm

電源電壓

230VAC 50Hz 5A

CDA供給壓力

0.5-0.6 MPa

CDA 最大消耗量

3 m3/h

CDA 連接管

6 mm

去離子水 供給壓力

0.2-0.3 MPa

去離子水最大消耗量

100 L/h

去離子水連接管

6 mm

真空供應(yīng)

0.02-0.04 MPa

真空連接管

6 mm

排氣連接管

50 mm

尺寸

900x780x1280 mm

重量

110 kg

 


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