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簡要描述：德國osiris勻膠機：SPIN COATING，應用于勻膠工藝的設備，具有CCP(夾具密封工藝)的勻膠技術和可選的烘烤熱板，適用于實驗室開展科學研究、技術開發(fā)和企業(yè)小批量多品種生產(chǎn)。設備具有多選項（例如可編程滴膠臂）并且可以升級成自動化的系統(tǒng)達到更高的片到片工藝重復性。
產(chǎn)品型號：UNIXX-SERIES 廠商性質：代理商更新時間：2024-05-17訪 問 量：791詳細介紹
Osiris勻膠機
用于處理單晶圓的系統(tǒng)，具有用于半導體和微系統(tǒng)技術的定制基板加工選項。
旋涂機 - CCP
設計用于以下應用：
帶蓋卡盤處理器 （CCP） 的旋轉涂層
1.UNIXX S760+
（21x21 英寸）獨立系統(tǒng)
用于大型基材的旋涂機。
2.UNIXX SA30+
（?300毫米）獨立系統(tǒng)
帶蓋卡盤旋涂機。（單底座）
3. UNIXX SHp22+
（直徑200mm）獨立系統(tǒng)
有蓋卡盤旋涂機和加熱板模塊。
旋涂機 - 開式轉鼓
設計用于以下應用：
帶開口碗的旋轉涂層，用于標準涂層。
1.UNIXX SA30
（?300毫米）獨立系統(tǒng)
開式轉鼓旋涂布機。（單底座）
2. UNIXX SHe22
（直徑200mm）獨立系統(tǒng)
開碗旋涂機和加熱板模塊。
產(chǎn)品咨詢
聯(lián)系人：葉盛
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