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當(dāng)前位置:首頁(yè)   >  產(chǎn)品中心   >  紫外掩膜曝光系統(tǒng)  >  UV-KUB 3

  • UV-KUB 3UV-LED 的緊湊型掩膜對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

    UV-KUB 3 是一種基于掩膜對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的 UV-LED,具有 365nm 的可用光源。 這是一個(gè)非常緊湊的桌面系統(tǒng),兼容 4 英寸晶圓和 100x100 mm² 工作表面。 由于特定的光學(xué)裝置可提供最大發(fā)散角小于 2° 的準(zhǔn)直光束,因此可實(shí)現(xiàn)的最小特征尺寸為 2 µm。

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    產(chǎn)品價(jià)格:面議
    廠商性質(zhì):代理商
    更新日期:2024-05-17
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